一、设备简介：

　　1、采用准零刚度隔振技术并配合精密步进电机调节，垂向固有频率可低至0.4Hz;

　　2、垂向刚度可调节设计，满足不同隔振及稳定性要求;

　　3、多自由度隔振能力，满足不同方向隔振需求;

　　4、自主开发的UI软件，可根据客户设备及现场安装条件进行调试，提供专业解决方案。

　　二、应用领域：

　　扫描电子显微镜、微硬度计、表面粗糙度计、3D轮廓测量仪、 光学隔振平台、透射电镜、扫描探针显微镜以及其他超精密测量仪器及光学设备。

　　三、控制界面：