一、设备简介：

　　采用准零刚度隔振技术并配合精密步进电机调节，垂向固有频率可低至0.4Hz;垂向刚度可调节设计，满足不同隔振及稳定性要求;多自由度隔振能力，满足不同方向隔振需求;自主开发的 UI软件，可根据客户设备及现场安装条件进行调试，提供专业的解决方案。

　　扫描电子显微镜、微硬度计、表面粗糙度计、3D轮廓测量仪、光学隔振平台、透射电镜、扫描探针显微镜以及其他超精密测量仪器及光学设备。

　　二、隔振降噪系统性能指标及各系统组成：