据了解，《超光滑表面无损检测仪》是国家“十三五”重点研发计划重大科学仪器设备开发项目，分别获得国家科技部2000万元、成都高新区200万元资金支持，由企业牵头，协同国内多家技术实力雄厚的大学、研究所和企业形成产、学、研、用相结合的项目团队共同实施。超光滑表面无损检测仪主要用于高精度非接触测量，可以广泛应用于高速集成电路、微电子集成电路、光电集成电路、半导体制造、半导体照明以及太阳能新能源电池等基片TTV、弯曲度、表面质量等关键参数的快速检测，还可应用于大型现代光学工程系统。

　　据介绍，该项目将通过专项带动，集成国内优势力量重点创新，解决高精度超光滑表面无损检测的关键技术瓶颈，实现高端超光滑表面无损检测仪器国产化，替代国外同类产品，打破国外公司的技术垄断和价格壁垒。

　　成都高新区科技局相关负责人表示，获得国家重大科技创新项目立项支持且项目国拨资金到位的成都高新区企业，可按照国拨资金实际到位额的10%进行配套资助申请，同一项目申请金额*不超过200万元，同一家企业同一年度申请该类资金额度*不超过200万元。

　　“未来五年，成都高新区将每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持知名大学科研成果在区内转化;每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持国内外*企业研发中心在区内落户;每年安排不低于10亿元资金、连续5年，支持引进高端人才到成都高新区发展。”

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